西安洁净室(也名无尘室,净化室)是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有(yǒu)害空气、细菌等污染物(wù)排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分(fēn)布、噪音振动及照明、静電(diàn)控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能(néng)俱有(yǒu)维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能(néng)之特性洁净室最主要之作用(yòng)在于控制产品(如電(diàn)子芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能(néng)在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之為(wèi)洁净室。按照國(guó)际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分(fēn)标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有(yǒu)一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小(xiǎo)的微乎其微西安洁净室厂家,但是对于光學(xué)构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光學(xué)构造产品的生产上,洁净室有(yǒu)着较高的要求。
每立方米将小(xiǎo)于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了國(guó)际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用(yòng)在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
空态:已经建造完成并可(kě)以投入使用(yòng)的洁净室(设施)。它具备所有(yǒu)有(yǒu)关的服務(wù)和功能(néng)。但是,在设施内没有(yǒu)操作人员操作的设备。